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常见激光混合气的组成,应用及分类

世源气体 www.51qiti.com  更新时间:2008-12-16 11:41:51
 

一切以气体或蒸汽作为激光工作物质的激光气,统称为气体激光气。这是目前种类最多、发展最快应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原于气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器、气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、

    水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。
    常见的激光混合气的组成和主要用途:
类别
混合气组成/(10-2
用途
H2
Ne
Ar
N2
CO2
Kr
F
Xe
CO
HCl
平衡气
2-8.3
He
用于工业生产,科学研究和国防建设等领域
0.4
13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12
4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8

2.0
4.0
2.0
4.0

主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等
5.0

10.0

1-0.2
用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光
18.5
3
2.5
作研究用的密封束激光气
25.8
9.8
0.004

1

5
0.2




5.0

Ar
He
He
Ar

准分子激光器用于医疗上的外科手术

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